이중 축 대리석 선형 모터 모듈

00 등급 화강암 베이스(낮은 열팽창 계수 및 진동 감쇠 특성으로 선택됨)를 기반으로 제작된 이 이중 축 대리석 선형 모터 모듈은 2개의 고성능 선형 모터 축과 에어 베어링 가이드를 통합하여 ±0.5μm 반복 정확도를 제공합니다. 이는 반도체 리소그래피, 레이저 미세 가공, 광학 검사 및 정밀 계측 시스템에 이상적입니다.

알루미늄 또는 강철 기반 이중 축 스테이지의 한계(열 드리프트, 진동, 낮은 강성)를 해결하도록 설계된 당사의 이중 축 대리석 선형 모터 모듈은 고속 모션(축당 최대 2m/s)에서 기계적 변형을 제거하고 작동 온도(-10℃ ~ 40℃) 전반에 걸쳐 일관된 정밀도를 유지합니다. X-Y축 동기 제어 시스템(EtherCAT 기반)은 7nm 칩 패키징, 미세 광학 부품 제조 및 고급 3D 측정과 같은 초정밀 프로세스에 중요한 나노미터 수준의 모션 동기화를 가능하게 합니다.

ISO 9001:2015 및 ISO 10110 광학 품질 표준에 따라 제조된 이중 축 대리석 선형 모터 모듈은 밀봉된 케이블 관리 시스템, 정전기 방지 코팅 및 진공 호환 옵션(반도체 클린룸 사용용)을 갖추고 있습니다. 업계 최고의 모션 컨트롤러(Aerotech, PI, Newport) 및 계측 시스템(Renishaw 레이저 간섭계)과 호환되며 초정밀 제조 라인에 원활하게 통합되어 기존 금속 기반 이중 축 스테이지에 비해 공정 수율을 최대 20% 향상시킵니다.

제품 시리즈

DT-GM-DX1 시리즈(콤팩트 정밀)

X-Y 이동 범위: 100×100mm ~ 500×500mm, 반복 정확도 ±0.5μm, 축당 최대 속도 1m/s. 미세 광학 부품 가공, 정밀 계측, 소형 반도체 패키징에 이상적입니다.

DT-GM-DX2 시리즈(중급 고속)

X-Y 이동 범위: 500×500mm ~ 1000×1000mm, 반복 정확도 ±1μm, 축당 최대 속도 2m/s. 레이저 미세 가공, LCD 패널 수리, 중형 광학 검사에 적합합니다.

DT-GM-DX-VAC 시리즈(진공 대응)

X-Y 이동 범위: 100×100mm ~ 800×800mm, 반복 정확도 ±0.5μm, 진공 등급 10⁻⁶ mbar. 반도체 클린룸 애플리케이션, 진공 코팅 및 공간 시뮬레이션 시스템용으로 설계되었습니다.

핵심 장점

1. 비교할 수 없는 안정성을 위한 00등급 화강암 베이스

천연 00등급 화강암(열팽창 계수 ≤0.5×10⁻⁶/℃)으로 제작된 베이스는 뛰어난 열 안정성(≤0.001mm/℃)과 진동 감쇠(고주파 진동의 80% 감쇠)를 제공합니다. 이는 초정밀 제조 공정에서 금속 기반 스테이지에서 흔히 발생하는 문제인 열 드리프트 및 기계적 공진을 제거합니다.

2. 에어베어링 가이드를 사용한 서브미크론 정밀도

통합된 에어 베어링 선형 가이드(기존 볼 베어링 대신)는 마찰과 마모를 제거하여 ±0.5μm 반복 위치 정확도와 1nm 분해능(Renishaw 앱솔루트 엔코더 사용)을 달성합니다. 비접촉 설계는 대량 초정밀 생산에 중요한 1억 주기 이상의 유지보수 없는 작동을 보장합니다.

3. X-Y축 동기 모션 제어

EtherCAT 기반 실시간 모션 제어는 X축과 Y축 사이의 나노미터 수준의 동기화(동기화 오류 ≤50nm)를 가능하게 하며 레이저 미세 가공 및 광학 패터닝에 필요한 복잡한 모션 프로파일(원형 보간, 나선형 스캐닝)을 지원합니다. 개방형 아키텍처는 타사 모션 소프트웨어(LabVIEW, MATLAB)와 호환됩니다.

4. 고강성 & 저변형

통합 리브가 있는 강화 화강암 구조는 ≥300N/μm의 강성을 제공하여 동적 하중(축당 최대 50kg) 하에서 처짐을 최소화합니다. 이러한 안정성은 고속 가속(1g) 중에도 일관된 정밀도를 보장하여 공정 변동을 줄이고 제품 수율을 향상시킵니다.

5. 초정밀 애플리케이션에 맞게 맞춤화 가능

이동 범위(100×100mm ~ 1000×1000mm), 엔코더 분해능(1nm ~ 1μm), 진공 호환성(10⁻³ ~ 10⁻⁶ mbar) 및 표면 마감(Ra ≤0.02μm)을 완전히 맞춤화합니다. 옵션 기능으로는 정전기 방지 코팅, 클린룸 호환 재료, 현장 교정을 위한 통합 레이저 간섭계 등이 있습니다.

6. 클린룸 사용을 위한 산업 등급 신뢰성

IP67 보호 등급(표준) / IP68(진공 버전), 정전기 방지 코팅(10⁶-10⁹ Ω/sq) 및 낮은 입자 방출(클래스 1 클린룸 준수)으로 인해 반도체 제조 공장 및 광학 제조 클린룸에 적합합니다. 연속 작동 시 MTBF ≥40,000시간, 총 소유 비용(TCO)을 5년간 30% 절감합니다.

기술 사양

화강암 베이스(00등급)±0.5μm 반복 위치 정확도X-Y축 동기 운동열 안정성(≤0.001mm/℃)고강성(≥300N/μm)

응용 시나리오

Deaote의 이중 축 대리석 선형 모터 모듈은 글로벌 첨단 기술 분야의 초정밀 제조를 위해 설계되었습니다.

● 반도체 및 마이크로 전자공학: 7nm/5nm 칩 패키징, 웨이퍼 검사, 리소그래피 정렬, MEMS 장치 제조

● 광학 제조: 미세 광학 부품 가공(렌즈, 프리즘), 광섬유 어레이 조립, 유리 기판의 레이저 패터닝

● 정밀 계측: 3D 광학 측정, 좌표 측정기(CMM) 모션 스테이지, 나노미터 수준의 표면 프로파일링

● 레이저 미세 가공: 경질 재료(실리콘, 사파이어, 세라믹)의 레이저 절삭, 미세 드릴링, 정밀 조각

● 항공우주 및 방위: 마이크로 센서 제조, 관성 항법 부품 교정, 위성 광학 시스템 조립

데오테 소개

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd.는 글로벌 반도체, 광학 및 항공우주 시장을 위한 화강암 기반 선형 모터 모듈에 중점을 두고 초정밀 모션 부품의 R&D, 제조 및 판매를 전문으로 하는 선도적인 하이테크 기업입니다. 정밀 금형 및 초정밀 모션 시스템 설계 분야에서 15년 이상의 전문 지식을 보유한 당사는 유럽, 북미, 일본 및 한국의 고급 제조 부문 고객에게 서비스를 제공하고 있습니다.

당사의 이중 축 대리석 선형 모터 모듈은 고급 화강암 가공(±0.001mm 공차), 레이저 교정 및 에어 베어링 조립 기술을 활용하여 서브미크론 정확도를 달성하는 전용 초정밀 모션 R&D 연구소에서 개발되었습니다. 우리는 모듈 설계 및 프로토타입 제작부터 현장 교정 및 글로벌 기술 지원에 이르기까지 엔드투엔드 맞춤형 서비스를 제공하여 솔루션이 초정밀 제조 라인의 고유한 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.

Deaote는 "나노미터 수준의 정밀도, 평생 안정성"을 약속하며 차세대 초정밀 모션 솔루션을 개발하기 위해 연간 매출의 20%를 R&D에 투자합니다. 당사의 ISO 9001:2015 및 ISO 10110 인증 생산 시설과 글로벌 서비스 네트워크는 빠른 응답 시간(48시간 이하)과 현지 기술 지원을 보장하여 전 세계 고급 초정밀 장비 제조업체의 신뢰할 수 있는 파트너가 되었습니다.