웨이퍼 테스트

정밀 금형 및 모션 부품 제조 분야에서 Deaote의 15년 이상의 전문 지식을 바탕으로 구축된 웨이퍼 테스트는 견고한 화강암 베이스, 열적으로 안정화된 구조 및 진동 방지 설계를 특징으로 하여 클린룸 환경(클래스 100/1000)에서 일관된 성능을 보장합니다. 웨이퍼 프로버, 광학 현미경, ATE(자동 테스트 장비) 시스템 및 데이터 수집 도구와의 원활한 통합을 지원하므로 로직 칩, 메모리 장치, 전력 반도체 및 화합물 반도체(GaAs, SiC, GaN)의 R&D 및 대량 생산 테스트에 이상적입니다.

웨이퍼 테스트의 모듈식 설계를 통해 특정 웨이퍼 테스트 작업흐름에 맞게 이동 범위, 속도/가속 매개변수 및 제어 인터페이스(GPIB, USB, 이더넷)를 완벽하게 사용자 정의할 수 있습니다. 당사의 솔루션을 통해 반도체 제조업체는 더 높은 테스트 정확도를 달성하고 잘못된 실패율을 줄이며 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 이는 차세대 반도체 장치의 소형화 및 성능 요구 사항을 충족하는 데 중요합니다.

핵심 장점

1. 서브 마이크론 4축 정렬 정확도

고해상도 선형 인코더(0.05μm 분해능)와 Theta 축용 직접 구동 토크 모터가 장착된 이 플랫폼은 ±0.5μm 반복 위치 정확도(X/Y), ±1μm 절대 정확도(X/Y), ±2μm Z축 위치 정확도 및 0.001° Theta 축 각도 정확도를 달성합니다. 이를 통해 웨이퍼 다이와 테스트 프로브/검사 광학 장치 간의 정밀한 정렬이 보장되며, 전기 특성화 및 광학 검사에서 오정렬로 인한 오류가 제거됩니다.

2. 고속 및 안정적인 모션 제어

최적화된 모션 제어 알고리즘과 에어 베어링 가이드웨이를 통해 초저 정착 시간(X/Y의 경우 30ms 이하, Z의 경우 50ms 이하)으로 고속 이동(X/Y 최대 속도: 150mm/s, Z축 최대 속도: 50mm/s)이 가능합니다. 비접촉 구동 메커니즘은 기계적 마모와 백래시를 제거하여 수백만 주기에 걸쳐 일관된 모션 안정성을 보장합니다. 이는 처리량이 많은 웨이퍼 테스트(시간당 최대 2500개의 다이)에 필수적입니다.

3. 열 안정성 및 진동 방지 설계

천연 화강암 베이스(열팽창 계수 ≤0.5×10⁻⁶/℃)와 능동형 방진 격리 시스템으로 구성된 플랫폼은 온도 변동(≤0.1μm/℃) 및 외부 진동으로 인한 위치 드리프트를 최소화합니다. Z축에는 웨이퍼 테스트에서 프로브 접촉력 제어(0.1g ~ 100g)에 중요한 수직 위치 지정 중 안정성을 유지하기 위해 예압 보상 기능이 있는 정밀 볼 스크류 드라이브가 있습니다.

4. 넓은 웨이퍼 호환성 및 유연성

웨이퍼 테스트는 조정 가능한 진공 척과 자동 센터링 메커니즘을 통해 4인치부터 12인치까지의 웨이퍼 크기를 지원하며 맞춤형 고정 장치 교체가 필요하지 않습니다. 50μm~800μm의 웨이퍼 두께를 수용하고 베어 웨이퍼, 패턴 웨이퍼, 웨이퍼 레벨 패키지(WLP)와 호환되므로 다양한 반도체 테스트 요구(DC 파라메트릭 테스트, RF 테스트, 광학 검사)에 적합합니다.

5. 클린룸 호환 및 낮은 유지보수

클래스 100 클린룸 작동을 위해 설계된 웨이퍼 테스트는 웨이퍼와 테스트 장비의 입자 오염을 방지하기 위해 HEPA 필터가 있는 밀봉된 엔클로저를 특징으로 합니다. IP54 보호 등급 및 무급유 에어 베어링 구성 요소는 유지 관리 요구 사항을 줄여 표준 작동 조건에서 MTBF(평균 고장 간격)를 ≥35,000시간으로 연장합니다.

6. 쉬운 통합 및 사용자 정의

업계 표준 제어 소프트웨어 및 통신 프로토콜(GPIB, RS232, 이더넷/IP)과 호환되는 이 플랫폼은 기존 웨이퍼 테스트 시스템과 원활하게 통합됩니다. Suzhou Deoute는 고유한 고객 요구 사항을 충족하기 위해 이동 범위(X/Y: 100×100mm ~ 300×300mm, Z: 50mm ~ 150mm), 세타축 회전 범위(±5° ~ ±10°) 및 척 온도 제어(-40℃ ~ 200℃)의 완전한 사용자 정의 기능을 제공합니다.

기술 사양

응용 시나리오

4축 웨이퍼 테스트 및 검사용으로 설계된 당사의 XYZT 플랫폼은 다음 반도체 응용 분야에서 널리 사용됩니다.

● 웨이퍼 프로빙: 로직 칩, DRAM/NAND 메모리 소자, 전력 반도체(MOSFET, IGBT)의 전기적 특성화(DC/AC/RF)

● 광학 검사: 고급 반도체 제조를 위한 웨이퍼 수준 결함 감지, 패턴 정렬 및 계측

● 신뢰성 테스트: 화합물 반도체(GaAs, SiC, GaN)의 고온/저온 사이클링, 번인 테스트, 수명 특성화

● WLP(웨이퍼 레벨 패키징): 가전제품 및 자동차 애플리케이션을 위한 웨이퍼 레벨 패키지 정렬 및 본딩

● R&D 테스트: 실험실 환경에서 새로운 반도체 설계의 프로토타입 제작 및 검증(소규모 배치 테스트에 맞게 맞춤화 가능)

데오테 소개

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd.는 정밀 모션 플랫폼, 맞춤형 금형 및 반도체 테스트 부품의 R&D, 제조 및 판매를 전문으로 하는 선도적인 하이테크 기업입니다. 정밀 제조 분야에서 15년 이상의 전문 지식을 보유한 당사는 유럽, 북미, 아시아 및 기타 지역의 반도체, 전자 및 산업 자동화 부문의 글로벌 고객에게 서비스를 제공하고 있습니다.

당사의 XYZT 검사 모션 플랫폼은 정밀 금형 설계 및 모션 제어 엔지니어링의 핵심 역량을 활용하여 반도체 웨이퍼 테스트의 고유한 과제를 해결합니다. 당사는 맞춤형 플랫폼 설계 및 프로토타입 제작부터 현장 설치, 교정 및 평생 기술 지원에 이르기까지 엔드투엔드 솔루션을 제공하여 당사 제품이 정밀성과 신뢰성에 대해 가장 엄격한 업계 표준을 충족하도록 보장합니다.

"정밀은 발전을 주도하고 혁신은 가치를 창출한다"는 신념으로 ISO 9001:2015 인증을 받았으며 반도체 산업을 위한 차세대 모션 솔루션을 개발하기 위해 연간 매출의 15%를 R&D에 투자합니다. 당사의 글로벌 서비스 네트워크는 해외 고객을 위한 빠른 응답 시간과 현지 지원을 보장합니다.