웨이퍼 검사용 XYZT 갠트리 모션 스테이지

장쑤성 쑤저우시 Wuzhong 지구에 위치한 Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd.는 웨이퍼 검사 응용 분야를 위한 고정밀 XYZT 갠트리 모션 스테이지의 선도적인 제조업체입니다. 18년 이상의 정밀 가공 및 모션 제어 전문 지식을 갖춘 당사는 200mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼 검사 장비에 대해 미크론 미만의 정확도를 제공하는 맞춤형 4축(X/Y/Z/Theta) 갠트리 포지셔닝 시스템을 전문적으로 생산합니다.

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제품 설명

웨이퍼 검사용 XYZT 갠트리 모션 스테이지는 고강성 화강암 베이스, 에어 베어링 가이드, 선형 모터 드라이브 및 정밀 광학 인코더를 통합하여 ±1μm 위치 정확도와 ±0.1μm 반복성을 달성합니다. 클린룸 환경(클래스 100/클래스 10)에서 연중무휴 작동하도록 설계된 당사의 갠트리 스테이지는 초저진동, 높은 동적 응답(최대 속도 500mm/s) 및 열 안정성을 특징으로 하여 전체 생산 수명 주기에 걸쳐 안정적인 웨이퍼 결함 감지 및 치수 측정을 보장합니다.

● 웨이퍼 검사 장비 사양 및 CAD 도면에 맞게 설계된 웨이퍼 검사용 맞춤형 XYZT 갠트리 모션 스테이지

● 중요한 웨이퍼 측정을 위한 나노미터 수준의 반복성(±0.1μm)을 갖춘 ±1μm 포지셔닝 정확도

● 클린룸 환경에서 무마찰 모션 및 제로 파티클 생성을 위한 에어 베어링 기술

● 초고정밀도를 위한 활성 온도 제어(±0.01°C)로 열적으로 안정된 설계

● 반도체 산업 규정 준수를 위한 완벽한 추적성을 갖춘 ISO 9001:2015 인증 제조

주요 기능 및 핵심 장점

고강성 기계적 설계

웨이퍼 검사용 XYZT 갠트리 모션 스테이지는 모놀리식 화강암 베이스(열 팽창 계수 < 0.5 × 10⁻⁶/°C)와 탄소 섬유 강화 폴리머(CFRP) 갠트리 빔을 갖추고 있어 탁월한 구조적 견고성과 열 변형 최소화가 가능합니다. 대칭형 갠트리 설계는 아베 오류를 제거하고 전체 웨이퍼 검사 영역에 걸쳐 균일한 하중 분포를 보장합니다.

정밀 모션 제어 시스템

고성능 선형 모터 드라이브(백래시 제로, 높은 가속도) 및 절대 광학 인코더(1nm 분해능)와 통합된 XYZT 갠트리 스테이지는 마이크론 이하의 정확도로 부드럽고 정밀한 모션을 제공합니다. 고급 서보 제어 알고리즘은 동적 오류를 보상하고 웨이퍼 스캐닝 작업 중에 나노미터 수준의 위치 안정성을 보장합니다.

클린룸에 적합한 설계

웨이퍼 검사를 위한 모든 XYZT 갠트리 모션 스테이지는 진공 호환 구성 요소, 밀봉된 선형 가이드 및 가스 방출이 적은 재료(SEMI S2-0701 준수)를 사용하여 클래스 100/클래스 10 클린룸 작동을 위해 설계되었습니다. 에어베어링 기술은 입자 발생을 제거하고, 밀폐형 케이블 관리 시스템은 고속 웨이퍼 검사 주기 동안 오염을 방지합니다.

기술 사양

XYZT 갠트리 스테이지 모델	이동 범위(X/Y/Z/세타)	성능 사양
DT-WI200(200mm 웨이퍼)	300×300×50mm / ±3°	±1μm 정확도, ±0.1μm 반복성, 500mm/s 속도, 5m/s² 가속도
DT-WI300(300mm 웨이퍼)	400×400×75mm / ±3°	±1.5μm 정확도, ±0.2μm 반복성, 400mm/s 속도, 4m/s² 가속도
DT-WI450(450mm 웨이퍼)	500×500×100mm / ±3°	±2μm 정확도, ±0.3μm 반복성, 300mm/s 속도, 3m/s² 가속도
DT-WI-Custom(사용자 정의)	요구 사항에 따른 맞춤형	맞춤형 정확도/반복성, 맞춤형 속도/가속도, 특수 클린룸 등급